主要用於晶圓、基板、晶片或其他敏感元件的自動收料與送料操作。
該設備通過精密的機械結構和智能控制系統，確保物料的高效、穩定傳送，並有效避免人工操作中可能導致的污染與損壞。
- 適用物料：6吋、8吋、12吋晶圓、Tray、Boat、基板
- 輸送速度：100~300 mm/s（可調節）
- 定位精度：±0.05 mm
- 傳輸模式：真空吸附、機械夾持、磁力傳送等多種方式
- 操作環境：Class 10~1000 潔淨室
- 控制系統：PLC/工業電腦+觸控屏
- 可選配功能：視覺檢測模組、ID/條碼讀取
主要用於晶圓、基板、晶片或其他敏感元件的自動收料與送料操作。
該設備通過精密的機械結構和智能控制系統，確保物料的高效、穩定傳送，並有效避免人工操作中可能導致的污染與損壞。