是專為半導體製程中多種載板規格的轉換需求而設計的自動化設備，能夠高效處理不同類型或規格的載板（如晶圓載板、玻璃載板、陶瓷載板等），實現從輸送到換板再到下游設備對接的全自動操作。
該設備可用於載板尺寸、材質或形狀的切換，適應多工藝流程需求。
- 適用物料：6吋、8吋、12吋晶圓、Tray、Boat、基板
- 輸送速度：100~300 mm/s（可調節）
- 定位精度：±0.05 mm
- 傳輸模式：真空吸附、機械夾持、磁力傳送等多種方式
- 操作環境：Class 10~1000 潔淨室
- 控制系統：PLC/工業電腦+觸控屏
- 可選配功能：視覺檢測模組、 ID/條碼讀取、載板翻轉模組、Sorter功能